উচ্চ তাপমাত্রা ভ্যাকুয়াম উপাদান
তাপ চিকিত্সার মধ্যে প্রধানত অক্সিডেশন, প্রসারণ এবং অ্যানিলিং প্রক্রিয়া অন্তর্ভুক্ত থাকে।অক্সিডেশন হল একটি সংযোজন প্রক্রিয়া যেখানে সিলিকন ওয়েফারগুলি একটি উচ্চ-তাপমাত্রার চুল্লিতে স্থাপন করা হয় এবং ওয়েফারের পৃষ্ঠে সিলিকা তৈরি করতে তাদের সাথে বিক্রিয়া করার জন্য অক্সিজেন যোগ করা হয়।ডিফিউশন হল আণবিক তাপীয় আন্দোলনের মাধ্যমে উচ্চ ঘনত্বের এলাকা থেকে কম ঘনত্বের অঞ্চলে পদার্থকে স্থানান্তরিত করা, এবং ডিফিউশন প্রক্রিয়াটি সিলিকন সাবস্ট্রেটে নির্দিষ্ট ডোপিং পদার্থকে ডোপ করার জন্য ব্যবহার করা যেতে পারে, যার ফলে সেমিকন্ডাক্টরগুলির পরিবাহিতা পরিবর্তন হয়।
